標準簡介：本標準描述了用半導(dǎo)體制造的微機電系統(tǒng)（MEMS）的總規(guī)范，規(guī)定了用于IECQ-CECC體系質(zhì)量評定的一般規(guī)程，給出了電、光、機械和環(huán)境特性的描述和測試的總則。本標準適用于各類MEMS器件[如傳感器、射頻MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系統(tǒng)（Micro-TAS）和微能源MEMS]。

標準號：GB/T 32817-2016

標準名稱：半導(dǎo)體器件 微機電器件 MEMS總規(guī)范

英文名稱：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

標準類型：國家標準

標準性質(zhì)：推薦性

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2016-08-29

實施日期：2017-03-01

中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>微電路>>L55微電路綜合

國際標準分類號（ICS）：電子學>>半導(dǎo)體器件>>31.080.99其他半導(dǎo)體器件

起草單位：中機生產(chǎn)力促進中心、中國電子科技集團公司第十三研究所、中北大學、南京理工大學、大連理工大學

歸口單位：全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 336)

發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.

檢測流程

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