標準簡介：本標準規(guī)定了俄歇電子能譜和部分類型的 X射線光電子能譜檢測信號對應樣品區(qū)域的確定方法。本標準適用于俄歇電子能譜儀和具有以下條件的 X射線光電子能譜:入射 X光束激發(fā)的樣品區(qū)域大于分析器可檢測到的樣品區(qū)域;光電子從樣品到分析器入口的過程中經過自由空間;裝配有輔助電子槍可以產生一束可變能量的電子束照射到樣品上。

標準號：GB/T 31470-2015

標準名稱：俄歇電子能譜與X射線光電子能譜測試中確定檢測信號對應樣品區(qū)域的通則

英文名稱：Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers

標準類型：國家標準

標準性質：推薦性

標準狀態(tài)：現行

發(fā)布日期：2015-05-15

實施日期：2016-01-01

中國標準分類號（CCS）：儀器、儀表>>電工儀器儀表>>N26綜合測試系統(tǒng)

國際標準分類號（ICS）：計量學和測量、物理現象>>電學、磁學、電和磁的測量>>17.220.20電和磁量值的測量

起草單位：信息產業(yè)專用材料質量監(jiān)督檢驗中心、中國電子技術標準化研究院、蘇州晶瑞化學有限公司、天津中環(huán)領先材料技術有限公司

歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)

發(fā)布單位：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.

檢測流程

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