標準簡介：本標準規(guī)定了高純氯的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、標志、運輸和儲存。本標準適用于以工業(yè)液氯為原料,采用物理吸附等過程生產的高純氯產品。該產品主要用于大規(guī)模集成電路、光導纖維、高溫超導、平板顯示器、太陽能等技術領域。分子式:Cl2。相對分子質量:70.90(按2009年國際相對原子質量計算)。

標準號：GB/T 18994-2014

標準名稱：電子工業(yè)用氣體 高純氯

英文名稱：Gases for electronic industry—High purity chlorine

標準類型：國家標準

標準性質：推薦性

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2014-12-22

實施日期：2015-07-01

中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體

國際標準分類號（ICS）：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標準：替代GB/T 18994-2003

起草單位：西南化工研究設計院有限公司、光明化工研究設計院有限公司、佛山市華特氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、太和氣體(荊州)有限公司、上海儀盟科技有限公司

歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)

發(fā)布單位：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.

檢測流程

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