標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三氯化硼的技術(shù)要求、試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以粗制三氯化硼為原料，采用吸附、精餾等方法提純制得的三氯化硼，主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)所用的擴(kuò)散、離子注入、干法蝕刻等工藝。

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 17874-2010

標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體　三氯化硼

英文名稱：Gases for electronic industry-Boron trichloride

標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：2011-04-01

實施日期：2011-05-01

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體

國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 17874-2021代替;替代GB/T 17874-1999

起草單位：西南化工研究設(shè)計院、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、光明化工研究設(shè)計院

歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會(SAC/T

發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.

檢測流程

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