標準簡介：標準規(guī)定了電子工業(yè)用氦氣的技術(shù)要求、檢驗方法以及包裝、標志等，適用于以深冷法從天然氣、空氣或工廠弛放氣提取的高純度氦，在半導體及其器件生產(chǎn)中用作清洗氣、加壓氣，也用作載氣和保護氣等。

標準號：GB/T 16943-1997

標準名稱：電子工業(yè)用氣體 氦

英文名稱：Gases for electronic industry--Helium

標準類型：國家標準

標準性質(zhì)：推薦性

標準狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：1997-08-13

實施日期：1998-05-01

中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體

國際標準分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標準：被GB/T 16943-2009代替

起草單位：化學工業(yè)部西南化工研究院

歸口單位：全國半導體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會

發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局

檢測流程

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