GB/T 38614-2020.Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator.
1范圍
GB/T 38614規(guī)定了基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)(以下簡(jiǎn)稱為平臺(tái))的測(cè)量條件、測(cè)量系統(tǒng)和測(cè)量方法。
GB/T 38614適用于平臺(tái)的研究、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、檢測(cè)及使用。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 11336-2004直線 度誤差檢測(cè)
GB/T 38616-2020納米定位與掃描平臺(tái)術(shù)語(yǔ)
3術(shù)語(yǔ)和定義
GB/T 38616-2020界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
4測(cè)量條件
平臺(tái)的測(cè)量應(yīng)滿足如下條件:.
a)測(cè)量場(chǎng)地應(yīng)無(wú)影響測(cè)量精度的灰塵、振動(dòng)、氣流擾動(dòng)和較強(qiáng)磁場(chǎng);
b)測(cè)量時(shí) 的環(huán)境溫度為(20士1)°C,其變化應(yīng)不大于0.5 C/h;
c) 測(cè)量時(shí)的環(huán)境相對(duì)濕度為(50士5)%;
d)測(cè)量前應(yīng)確認(rèn)平臺(tái)無(wú)影響測(cè)量正確性實(shí)施和測(cè)量結(jié)果的外觀缺陷;
e)測(cè)量時(shí)平臺(tái)處于正常工作狀態(tài)。
5測(cè)量?jī)x器
本標(biāo)準(zhǔn)中推薦使用激光干涉儀(以下簡(jiǎn)稱干涉儀),角擺偏差也可使用自準(zhǔn)直儀,測(cè)量?jī)x器精度應(yīng)滿足測(cè)量要求。
6測(cè)量方法
6.1軸向行程
6.1.1測(cè)量步驟
將干涉儀嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn)平臺(tái),按照以下步驟進(jìn)行軸向行程測(cè)量:
a)將平臺(tái)移動(dòng)至行程反向極限位置,干涉儀測(cè)量讀數(shù)清零;
b)將平臺(tái) 移動(dòng)至行程正向極限位置,記錄干涉儀測(cè)量值;
c)重復(fù)步驟a)和步驟b)不應(yīng)少于3次。

檢測(cè)流程

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考，更多其他檢測(cè)內(nèi)容請(qǐng)咨詢客服。