標(biāo)準簡介：本標(biāo)準規(guī)定了離子注入機的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗、檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運輸、貯存。本標(biāo)準適用于半導(dǎo)體工藝用電能離子注入機。其他離子注入機亦可參照使用。

標(biāo)準號：GB/T 15862-2012

標(biāo)準名稱：離子注入機通用規(guī)范

英文名稱：General specification of ion implantation equipment

標(biāo)準類型：國家標(biāo)準

標(biāo)準性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2012-11-05

實施日期：2013-02-15

中國標(biāo)準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專用設(shè)備

國際標(biāo)準分類號（ICS）：31-550

替代以下標(biāo)準：替代GB/T 15862-1995

起草單位：中國電子科技集團公司第四十八研究所

歸口單位：中國電子技術(shù)標(biāo)準化研究所

發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.

檢測流程

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考，更多其他檢測內(nèi)容請咨詢客服。