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外延片檢測項(xiàng)目及標(biāo)準(zhǔn)方法匯總

2022-05-23

外延片檢測范圍

LED外延片,硅外延片,芯片外延片,氮化鎵外延片,半導(dǎo)體外延片,砷化鎵外延片,晶圓外延片,激光外延片等。

外延片檢測項(xiàng)目

表面質(zhì)量檢測,反射率檢測,光譜分析,峰值波長檢測,波長均勻性檢測,表面形貌分析,厚度檢測,翹曲度檢測,表面粗糙度檢測等。

外延片檢測報(bào)告有哪些用途?

1、銷售使用。

2、改善產(chǎn)品質(zhì)量。

3、科研論文數(shù)據(jù)使用。

4、質(zhì)量控制使用。

5、產(chǎn)品進(jìn)出口使用。

6、競標(biāo),投標(biāo)使用

外延片檢測標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 14139-2019 硅外延片

GB/T 37053-2018 氮化鎵外延片及襯底片通用規(guī)范

GB/T 35308-2017 太陽能電池用鍺基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片

GB/T 35310-2017 200 mm硅外延片

GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片結(jié)晶質(zhì)量檢測方法

GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常數(shù)檢測方法

GB/T 30655-2014 氮化物L(fēng)ED外延片內(nèi)量子效率檢測方法

GB/T 30854-2014 LED發(fā)光用氮化鎵基外延片

GB/T 30855-2014 LED外延芯片用磷化鎵襯底

GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化鎵襯底

GB/T 14139-2009 硅外延片

GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質(zhì)譜檢測方法

GB/T 14015-1992 硅-藍(lán)寶石外延片

檢測流程

檢測流程

溫馨提示:以上內(nèi)容僅供參考,更多其他檢測內(nèi)容請咨詢客服。

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