儀器檢測(cè)服務(wù)

在市場(chǎng)上，無塵布品種多樣，用途廣泛，價(jià)格更是高低不平，客戶在采購無塵布時(shí)主要通過無塵布的材質(zhì)、吸收率等來評(píng)估無塵布性能和費(fèi)用。

而在半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室中對(duì)無塵布?jí)m粒、離子、ESD等有很高的要求。碩源科技為此提供了一些評(píng)估無塵布的方法。

無塵布需進(jìn)行嚴(yán)格檢測(cè)以達(dá)到性能要求和污染控制標(biāo)準(zhǔn)，一般無塵布需進(jìn)行以下檢測(cè)：

1、抗磨損性檢測(cè)

通常，抗磨損性檢測(cè)屬于布料物理性質(zhì)的檢測(cè)。但在無塵布的檢測(cè)中，因?yàn)槟p的過程會(huì)產(chǎn)生塵粒，因此，將無塵布的抗磨損性檢測(cè)歸納為污染控制范圍更合適。

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：抗磨損性越強(qiáng)越不容易產(chǎn)生塵粒。

2、克重

根據(jù)ASTM-D-3776檢測(cè)無塵布單位面積的重量

參考檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：一般要求在150-300g/㎡

3、吸液量和吸液速度

根據(jù)IEST-RP-CC004.3第8節(jié)要求，需檢測(cè)無塵布的吸收量和吸收速率。

吸液量反映的是單位面積的無塵擦拭布的吸收液體的毫升數(shù)。

吸液速率是指無塵布吸收10ml液體所需的時(shí)間。

以上兩種測(cè)量都須測(cè)量三次并計(jì)算平均值

*參考檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：吸液量一般不小于400g/㎡

吸液速度一般不大于1秒。

4、IC檢測(cè)

根據(jù)IEST-RP-CC004.3第7.2節(jié)要求，定性定量地測(cè)量無機(jī)陰陽離子含量。

參考檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，在磁頭行業(yè)，一般要求CL-≤0.03ug/c㎡;SO42-≤0.03ug/c㎡;NO3-≤0.03ugc㎡;Total:<1.0ug/c㎡

5、NVR檢測(cè)

根據(jù)IEST-RP-CC004.3第7.1節(jié)要求,檢測(cè)單位面積上的無揮發(fā)性殘留物。

NVR檢測(cè)是將無塵布浸泡于一定量的溶劑中一定量的時(shí)間，然后將無塵布取出，檢測(cè)溶于溶劑中的無揮發(fā)性殘留物的質(zhì)量。

參考檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：在磁頭行業(yè)，一般要求<3.0ug/c㎡

6、LPC檢測(cè)

根據(jù)IEST-RP-CC004.3第6.2.1節(jié)的要求，對(duì)無塵布進(jìn)行LPC檢測(cè)。

LPC可檢測(cè)無塵布上的液態(tài)塵粒數(shù)。

LPC檢測(cè)是將無塵布浸泡在一定量的DI水中，經(jīng)過超聲波振蕩，檢測(cè)DI水中的塵粒濃度。*參考檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：在磁頭行業(yè)，一般要求<30counts/c㎡

檢測(cè)流程

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